Герб

ГОСТы

флаг

ГОСТ Р 8.628-2007

Название документа:

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Название анг.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection

Описание документа: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 1 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 2 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 3 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 4 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 5 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 6 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 7 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 8 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 9 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 10 из 11)
ГОСТ Р 8.628-2007 (страница 11 из 11)

Еще документы скачать бесплатно