Название документа:

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Название анг.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements

Описание документа: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ 8.592-2009 (страница 1 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 2 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 3 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 4 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 5 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 6 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 7 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 8 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 9 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 10 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 11 из 12)
ГОСТ 8.592-2009 (страница 12 из 12)

Еще документы скачать бесплатно