Название документа:

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Название анг.: State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

Описание документа: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 1 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 2 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 3 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 4 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 5 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 6 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 7 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 8 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 9 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 10 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 11 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 12 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 13 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 14 из 15)
ГОСТ Р 8.640-2008 (страница 15 из 15)

Еще документы скачать бесплатно