Название документа:

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Название анг.: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Описание документа: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ 5.2105-73 (страница 1 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 2 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 3 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 4 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 5 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 6 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 7 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 8 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 9 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 10 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 11 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 12 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 13 из 13)

Еще документы скачать бесплатно