Герб

ГОСТы

флаг

ГОСТ 5.2105-73

Название документа:

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Название анг.: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Описание документа: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ 5.2105-73 (страница 1 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 2 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 3 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 4 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 5 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 6 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 7 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 8 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 9 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 10 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 11 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 12 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 (страница 13 из 13)

Еще документы скачать бесплатно

Интересное

Гайка гост Гост 2 403 75 Допуски и посадки таблица Максимальная масса транспортного средства Масло моторное гост Обозначения на электрических схемах Отсос Паронит Пдк бензола Пдк почвы Плиты покрытия размеры Проектирование нежестких дорог Размеры спортивных площадок Расстояние между пешеходными переходами гост Рмг 29 99 Рмг 76 2004 Сварка трубопроводов гост Снип проектирование жилых зданий Сортамент труб стальных квадратных гост Справочная энциклопедия дорожника Том 2 Усиление ребристых плит покрытия швеллером Фахверковые колонны Фреза концевая гост 17026 71 Швеллер сортамент