Герб

ГОСТы

флаг

ГОСТ 25196-82

Название документа:

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Название анг.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Описание документа: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

Текст документа в графическом изображении (в других форматах поищите на форуме):
ГОСТ 25196-82 (страница 1 из 3)
ГОСТ 25196-82 (страница 2 из 3)
ГОСТ 25196-82 (страница 3 из 3)

Еще документы скачать бесплатно

Интересное

Автобусные Остановки Авторский надзор Гост 1491 80 Гост 3262 75 Гост бетон Гост р 21 1101 2009 Гост сетки арматурные сварные Заземление электроустановок Инструкция и 1 13 07 Маркировка грузов Маршрутная карта НП 001 97 Наружные пожарные лестницы требования Обязанности стропальщика Периодичность технического обслуживания Проверка предохранительных Клапанов Размеры болтов Расход топлива Расчет дождевых стоков с территории Расчетное сопротивление бетона Снип 2 04 08 87 Технологическая карта на земляные работы Технологическая карта на штукатурные работы Технологическая схема